弛光学OTFC1300 OTFC-1550 OTFC-1800真空镀膜机 @！18025286660
本装置是为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜机。
采用了磁流体密封技术的中心旋转式基板架，保证了薄膜产品的重复 性与均匀性
优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短
可以加装用于对应高精度AR镀膜的多层膜用可靠的光控仪 (optional)
规格
真空室SUS304,Ф1800mm×2000mm(H)
基板架4片式工作架（或Ф1200 mm）
基板架转速最大30rpm(可调)
晶振式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪1台
性能
极限真空7.0 × 10-5 Pa 以下
抽气速度10分（大气压～3.0×10-3Pa）
基板最高加热温度最高350℃
安装要求
安装空间约4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)
电力3相，200V，50/60Hz，约80KVA
水流量100升/分以上
压缩空气压力0.5-0.7MPa
镀膜机
重量约5000kg
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发表于 2024-3-6 09:43:31
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